Научные сотрудники Южного Федерального Университета (ЮФУ) начали работать над задачами проектирования и разработки новых технологий изготовления элементов для микроэлектромеханических систем. Эти микроминиатюрные устройства широко применяются в системах мониторинга физических параметров и используются в таких приборах как резонаторы, гироскопы, микромоторы, акселерометры или микромеханические переключатели. Также технологии МЭМС находят свое применение в сферах автомобильной электроники, авиационной техники, домашней техники, а также в производстве оборудования для военных, медицинских, научных и других специализированных целей.
На базе школы «Инженерия киберплатформ», которая входит в состав ЮФУ, ученые начали разворачивать полный цикл разработки МЭМС, включая проектирование, моделирование, производство и тестирование опытных партий изделий. Одной из задач работы исследователей является не просто разработка технологий для производства таких устройств, а выстраивание эффективного взаимодействия с действующими российскими предприятиями для того, чтобы максимально быстро внедрять научные достижения в производственный процесс.
Сейчас ученые университета реализуют проект ПИШ «Исследование и разработка технологии инкапсуляции МЭМС элементов в слоях кремниевой пластины» совместно с АО «Элемент» и его НЗПП-Восток.
На сегодняшний день рабочей группой проекта был проведен ряд экспериментальных исследований отдельных технологических операций, применяемых при изготовлении МЭМС: фотолитографии, плазменного и жидкостного травления, нанесения металлов и диэлектриков и других испытаний. Планируется, что технология инкапсуляции будет универсальной для различных конструкций МЭМС, а начнут ученые с резонаторов и одноосевых акселерометров.
Как рассказал участник проекта, руководитель дивизиона «Электроника» ПИШ ЮФУ Алексей Коломийцев, проект в сотрудничестве с АО «Элемент» представляет собой прикладное исследование, в рамках которого будет разработана технология инкапсуляции элементов МЭМС в слоях кремниевой пластины, обеспечивающей высокий потенциал коммерциализации разработок и импортозамещение критически важных решений в области производства миниатюрных сенсоров.
В итоге технология будет внедрена на площадке Новосибирского завода полупроводниковых приборов Восток для организации производства сенсоров.
Источник: научно-популярный журнал «Машины и Механизмы»
распечатать статью