Научные работники Уральского федерального университета (УрФУ) оптимизировали LIFT-печать – процесс производства серебряных электропроводящих пленок, которые используются в качестве соединительных элементов в микроэлектронике. Их разработка позволила сделать изготовление пленок эффективнее.
Серебряные электропроводящие пленки – это тонкие слои серебра, которые обладают хорошей электропроводимостью, высокой стабильностью и устойчивостью к коррозии и окислению. Благодаря этим свойствам их активно используют в производстве микропроцессоров, датчиков и сенсоров.
Всего технология их производства включает три этапа: подготовка подложки, затем перенос материала с поверхности подложки-донора на целевую поверхность – подложку-акцептор с помощью лазерного импульса, а на третьем происходит спекание – материал фиксируется на подложке-акцепторе при помощи дополнительной тепловой обработки.
Как объяснила старший научный сотрудник отдела оптоэлектроники и полупроводниковой техники НИИ физики и прикладной математики УрФУ Виктория Пряхина, производство серебряных пленок методом LIFT-печати является одним из самых успешных, однако сложным и затратным. Сейчас метод включает в себя три этапа производства, однако ученые обнаружили, что второй и трети этапы можно объединить в один. Это позволило сделать технологию более экономичной, при этом сохраняется высокий коэффициент электропроводимости полученных пленок.
Проанализировав результаты работы усовершенствованной LIFT-печати, ученые изучили поверхности и структуры серебряных пленок с помощью сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, установив их структуру и химический состав, а также электронные состояния. Оказалось, что полученные оптимизированным способом серебряные пленки имеют хороший коэффициент электропроводности – 83 килосименса.
Исследование выполнено при поддержке Министерства науки и высшего образования РФ. Подробную информацию о полученных результатах и оптимизации LIFT-печати исследователи УрФУ опубликовали в научном журнале Photonics.
Источник: пресс-служба Уральского федерального университета
распечатать статью
