В Институте нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике (ИНТЭЛ) Московского инженерно-физического института (МИФИ) была создана научно-исследовательская лаборатория, специализирующаяся на низкотемпературных керамических технологиях (LTCC) в области микроэлектроники. Это одна из первых лабораторий, открытых в рамках проекта Министерства науки и высшего образования Российской Федерации по созданию ста молодежных лабораторий в сфере микроэлектроники.
В лаборатории работают 17 человек, включая студентов и научных сотрудников. Среди них – Николай Самотаев и Андрей Симаков, которые стояли у истоков создания лаборатории.
Николай Самотаев рассказал, что лаборатория активно участвует в процессе импортозамещения, сотрудничая с отечественными предприятиями электронной промышленности. Она занимается разработкой прототипов керамических изделий для микроэлектроники, в частности, сенсоров для авионики и космической техники.
По словам Николая, задача лаборатории – создать широко номенклатурные мелкосерийные изделия в течение короткого времени. При этом требования индустриальных партнеров лаборатории – полнофункциональность изделий и их конкурентоспособная цена по сравнению с западными аналогами. Николай отметил, что лаборатория успешно справляется с этими задачами благодаря своему техническому оснащению и таланту сотрудников.
Майя Этрекова, одна из сотрудников лаборатории, рассказала о разработке газовых сенсоров на основе широкозонных полупроводников – карбида кремния и оксида галлия. Она уверена, что эти материалы скоро заменят кремний, который уже более полувека является основой электронной промышленности.
По мнению Майи, новые полупроводниковые материалы позволят ускорить миниатюризацию датчиков, сохраняя при этом высокую чувствительность и быстродействие. Она считает, что миниатюрный газовый датчик, интегрированный, например, в смартфон или часы, станет будущим сенсорного газового анализа.
Константин Облов работает над созданием простого и недорогого комплекса микрообработки микроэлектронных материалов на базе УФ-лазера.
Современное оборудование для производства электронных компонентов, созданное в эпоху индустриальной парадигмы, имеет ряд недостатков: высокую стоимость, сложность и дороговизну обслуживания, а иногда и недоступность расходных материалов.
Несколько лет назад началась работа над проектом по созданию программно-аппаратного комплекса для четырехкоординатной адаптивной лазерной микрофрезеровки. Этот комплекс позволяет небольшим научным группам получать результаты, сравнимые с теми, которые достигаются на промышленных линиях, предназначенных для массового производства.
С помощью этого оборудования можно выполнять операции, которые ранее были доступны только на крупных производствах, а также использовать новые материалы, которые ранее было сложно обрабатывать классическими технологиями. Например, циркониевую керамику, которая применяется для создания газовых датчиков для работы в тяжелых условиях, связанных с регистрацией процессов сгорания топлива в газовых турбинах и дизельных двигателях.
Программно-аппаратный комплекс, разработанный молодыми учеными МИФИ, является уникальной технологией для производства керамических МЭМС-сенсоров.
Источник: mephi.ru
распечатать статью
