ВНИИФТРИ представил на заседании Рабочей группы по стандартизации, метрологии, качеству и оценке соответствия при Консультативном совете Минпромторга России разработку специального эталона единиц комплексного коэффициента передачи и отражения (ККП и ККО) на полупроводниковой пластине.
Этот эталон позволит обеспечить единообразие измерений при производстве микроэлектронных устройств. Он будет состоять из нескольких компонентов: зондовой станции; векторного анализатора цепей; измерительных зондов; вспомогательного оборудования.
В качестве калибровочных пластин и измерительных зондов будут использоваться изделия, произведенные в России.
«Разработка и внедрение нового эталона позволят повысить точность измерений при разработке, тестировании и производстве микроэлектронных устройств», – подчеркнул Олег Каминский, начальник НИО-1 ВНИИФТРИ.
На заседании также были рассмотрены другие аспекты обеспечения единства измерений и стандартизации в области электронного машиностроения. В этом году Росстандарт создал новый технический комитет по стандартизации – «Электронное машиностроение и специальные материалы», который будет заниматься разработкой нормативных документов для отечественных фабрик и производств.
Источник: Росстандарт
распечатать статью
