В ВНИИФТРИ Росстандарта состоялось плановое заседание Рабочей группы по стандартизации, метрологии, качеству и оценке соответствия при Консультативном совете Министерства промышленности и торговли Российской Федерации.
В ходе заседания были рассмотрены вопросы стандартизации в области электронного машиностроения, связанные с измерениями на полупроводниковых пластинах. Также обсуждалось развитие информационно-аналитической системы ЦСМ для метрологов и совершенствование законодательства в области обеспечения единства измерений в сфере охраны здоровья граждан.
ФГУП «ВНИИФТРИ» подчеркнуло необходимость разработки проектов стандартов по измерениям на полупроводниковой пластине и их направления в технический комитет ТК 312 «Электронное машиностроение и специальные материалы», который контролируется Росстандартом. Это позволит включить проекты в План национальной стандартизации на 2026 год.
ФГУП «ВНИИФТРИ» разрабатывает эталон единиц комплексного коэффициента передачи и отражения на полупроводниковой пластине. В сотрудничестве с технологическими партнерами налаживается производство отечественных калибровочных пластин и зондов для обеспечения единства измерений. Эталон будет включать зондовую станцию, векторный анализатор цепей, измерительные зонды и вспомогательное оборудование.
Как отметил Олег Каминский, начальник НИО-1 ФГУП «ВНИИФТРИ», полупроводниковые пластины для интегральных схем должны быть высокоточными и надежными. Разработка стандартов в электронном машиностроении необходима для обеспечения качества продукции. Единые методы определения метрологических характеристик и передачи единиц измерений повысят достоверность результатов в микроэлектронике.
Рабочая группа предоставит свои идеи и рекомендации Консультативному совету Министерства промышленности и торговли Российской Федерации для последующей деятельности.
Источник: ВНИИФТРИ
распечатать статью
